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熱門關鍵詞: In-situ洗凈 碳素纖維改質 薄膜上常溫成膜 洗凈/去除(灰化) 半導體襯底成膜
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通過OER工藝常溫生成OH活性基,沒有熱或物理損傷
不需要真空排氣,大幅度縮短成膜時間
利用專用噴頭均勻噴射氣體,上游和下游之間沒有分布差異
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